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硅基微流控芯片加工

单层硅基芯片的刻蚀（DRIE，ICP）---包括圆孔阵列的以及流体通道的刻蚀，可以进行单层以及多层的硅基微流体通道的图案刻蚀。

服务的具体内容	微加工服务的详细说明	收费标准
单层的硅基微流控芯片的刻蚀	单层硅基芯片的刻蚀（RIE）--- 包括圆孔阵列的以及流体通道的刻蚀	具体得根据客户的定制加工需求而定
单层的硅基微流控芯片的深硅刻蚀	可以进行单层以及多层的硅基微流体通道的图案刻蚀	具体得根据客户的定制加工需求而定