硅基微流控芯片加工
单层硅基芯片的刻蚀（DRIE，ICP）---包括圆孔阵列的以及流体通道的刻蚀，可以进行单层以及多层的硅基微流体通道的图案刻蚀。
服务的具体内容 | 微加工服务的详细说明 | 收费标准 |
单层的硅基微流控芯片的刻蚀 | 单层硅基芯片的刻蚀（RIE）--- 包括圆孔阵列的以及流体通道的刻蚀 | 具体得根据客户的定制加工需求而定 |
单层的硅基微流控芯片的深硅刻蚀 | 可以进行单层以及多层的硅基微流体通道的图案刻蚀 | 具体得根据客户的定制加工需求而定 |
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